記者8日從復旦大學獲悉，該校高分子科學系、聚合物分子工程國家重點實驗室魏大程研究員帶領團隊設計出一種功能型光刻膠，利用光刻技術在全畫幅尺寸芯片上集成了2700萬個有機晶體管並實現了互連，集成度達到特大規模水平。該成果發表於最新一期《自然·納米技術》上。

這款功能型光刻膠可通過添加感應受體實現不同的傳感功能。為了實現高靈敏光電探測功能，團隊在光刻膠材料中負載了具有光伏效應的核殼結構納米粒子。光照下，納米光伏粒子產生光生載流子，電子被內核捕獲，產生原位光柵調控，大幅提升了器件的響應度。光刻制造的有機晶體管互連陣列包含4500×6000個像素，集成密度達到3.1×106單元/平方厘米，即在全畫幅尺寸芯片上集成了2700萬個器件。其光響應度達到6.8×106安培/瓦特，高密度陣列可以轉移到柔性襯底上，實現了仿生視網膜應用。

目前，團隊還研發出具有化學傳感功能、生物電傳感功能的光刻膠。該研究提出了一種功能型光刻膠的結構設計策略，將有望促進高集成有機芯片領域的發展。經過多年的技術累積，團隊制備的有機芯片在集成度方面已達到國際領先水平。該技術與商業微電子制造流程高度兼容，具有很好的應用前景。

“我們正在積極尋求產業化合作，希望能夠盡快實現應用轉化。未來，這種材料能夠用於制造高集成度柔性芯片。另外，由於具有光刻兼容性，其還有可能與硅基芯片集成，進一步拓展硅基芯片的應用。”魏大程說。

（李斯嘉 記者王春）

分享讓更多人看到