半導體制造流程復雜，涉及大量電子化學品和特殊氣體，產生的廢氣成分復雜、危害性強，若處理不當將直接影響晶圓生產的良率與產線穩定。面對這一行業難題，上海盛劍科技股份有限公司與上海交通大學緊密合作，正通過持續的科技創新，為半導體行業提供綠色解決方案。

談到初始，企業創始人張偉明、汪哲在交大安泰經濟與管理學院EMBA學習期間，系統構建了商業思維與資本運作能力，為企業發展奠定了堅實基礎。這份聯結並未止步於課堂，而是延伸至持續的技術探索：盛劍科技與交大機械與動力工程學院、集成電路學院等開展聯合課題研究，以企業實際場景助力技術驗証與轉化。

針對半導體行業的特性，通過校企合作研發，盛劍科技開發了一系列高性能裝備。自研的溫控設備能對反應腔進行精准的溫度控制，滿足不同工藝流程溫度的快速變換需求。真空設備將工藝廢氣抽離反應腔，產生、維持、控制滿足工藝反應腔要求的真空環境。Local Scrubber設備對廢氣進行預處理后，通過通風管道系統將其輸送至中央廢氣處理系統，集中處理后進行無害排放。

這種產教融合的模式也延伸至人才培養領域。盛劍科技積極參與上海市“陽光育人”計劃，設立獎學金和專項基金，關注湖北籍本科生和少數民族學生成長與發展。此外，盛劍科技新加坡總部與安泰亞太中心緊密合作，將海外實戰場景融入教學，實現了產教融合共同發展。

“綠色發展是高質量發展的底色，新質生產力本身就是綠色生產力。”企業相關負責人表示，當前，半導體行業存在高污染、高排放、高耗能等現象，綠色轉型勢在必行。同時，未來也將持續深化與交大安泰等高校的產學研合作，通過產品硬實力、戰略軟實力雙管齊下，踐行以綠色科技助力產業綠色發展的企業使命。（梁濟舟）

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