清華大學微電子所：全國微電子學領域首個重點學科點

　　清華大學微電子所

　　全國微電子學領域首個重點學科點

　　清華大學微電子學研究所成立於1980年9月，第一任所長由全國著名半導體物理學家、中科院院士李志堅擔任。該所是國家重點支持的北方微電子研究開發基地的主要組成單位，是高素質微納電子科技人才的培養基地，1988年被定為全國微電子學領域第一個重點學科點。

　　【硬件環境】兩條集成電路工藝加工線

　　清華大學微米/納米技術研究中心擁有一條4英寸1微米級集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術與設備，主要用於加工與MEMS器件相關的項目流片。另外還有一條集成電路開發與工業性試驗線，主要進行各類新型SiGe微波功率半導體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開發，並且可以提供MOSMPW(MOS多項目晶圓)服務。

　　【師資科研】器件和設計實力最強

　　清華大學微電子所主要分器件、工藝、設計和CAD四個研究方向。在這四個研究領域中，該所器件和設計實力最強，研究資金豐厚。

　　器件方向，主要強在理論，其研究方向包括新器件結構與模型、新材料與工藝、新概念與原理，其特點在於新材料和新器件方向結合、LIGA技術與傳統IC方向結合、微納米級器件設計與小尺寸器件模型建立相結合。微納器件與系統研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半導體存儲技術、納電子與自旋電子學和微納電子技術新材料等。在MEMS研究方面，器件組是國內惟一重復出當年的靜電微馬達的科研單位。

　　工藝方向，包括了研究傳統的CMOS工藝技術以及一些新型的工藝技術如數模混合工藝等等。其中的集成電路開發與工業性試驗線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向是：深亞微米集成電路制造、SiGe技術、非揮發性存儲技術、POWER器件及集成電路，以及集成電路生產自動化控制等。

　　設計方向更偏向於工程。在各大高校中，清華的電路設計是一流的，與各大公司、研究所以及國內外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數字多媒體、神經網絡及模糊電路、高層次綜合技術(原大唐總裁魏少軍在這個方向為北大清華的研究生開有任選課)、IC測試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統設計研究室由王志華教授領導，研究領域為集成電路與系統設計方法學、模擬和射頻集成電路設計、通訊集成電路設計和高速實時信號處理。

　　CAD技術研究室的主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運機理研究、納米級量子、電子器件結構和理論分析、微/納米級器件的CAD軟件研究、微/納米級新結構器件研究、建庫方法學研究和用於SOC存儲器類的IP核開發、射頻(RF)電路版圖設計的電路提取和驗証，以及集成電路制造的計算機輔助管理系統(IC-CAM系統)研發等。

　　【招生信息】

　　清華研究生微電子所難考的原因，在於他接收的考試生比較少(2007年僅招10人)，而保送生為30∼40人。清華大學在深圳也設有研究生院，但是一般隻培養工程碩士(專業碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數總共為74名。
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